臭氧(yang)流(liu)量(liang)(liang)計(ji)(ji)的(de)(de)作(zuo)用是(shi)什么？流(liu)量(liang)(liang)計(ji)(ji)就是(shi)通過流(liu)量(liang)(liang)計(ji)(ji)測(ce)量(liang)(liang)臭氧(yang)介質（氣體）的(de)(de)流(liu)量(liang)(liang)以(yi)達到(dao)過程(cheng)控(kong)制。所(suo)以(yi)一(yi)個(ge)流(liu)量(liang)(liang)計(ji)(ji)的(de)(de)精度(du)準確，顯示穩定(ding)是(shi)一(yi)個(ge)對(dui)流(liu)量(liang)(liang)計(ji)(ji)很(hen)重要(yao)的(de)(de)問(wen)題。流(liu)量(liang)(liang)計(ji)(ji)顯示不穩定(ding)的(de)(de)因素會有多種(zhong)情況，需要(yao)確認(ren)是(shi)顯示儀的(de)(de)問(wen)題還是(shi)控(kong)制器的(de)(de)問(wen)題。
一、顯示儀問(wen)題
可以將(jiang)顯(xian)示儀單獨檢(jian)測，將(jiang)設定(ding)及流量檢(jian)測短接，調節設定(ding)旋鈕觀察是否跳動。
二、流量計問題(ti)
若能排(pai)除(chu)(chu)顯示儀問(wen)題則很可能是實際(ji)流量控制不穩(wen)或者流量控制器問(wen)題。需要排(pai)除(chu)(chu)周圍是否存在干擾：
1.可(ke)能為空(kong)間干擾，可(ke)采(cai)用(yong)適當屏(ping)蔽(bi)，遠離干擾源，選用(yong)屏(ping)蔽(bi)線(xian)的方(fang)法。
2.可能為地(di)線干擾，檢(jian)查接(jie)地(di)系(xi)統(tong)，注意一點接(jie)地(di)；
3.可(ke)能(neng)為氣(qi)源(yuan)內阻過(guo)大，需要降(jiang)低(di)氣(qi)源(yuan)內阻(大流量(liang)時要注意開大閥(fa)門，加(jia)粗管道，以至并聯氣(qi)瓶，提高氣(qi)源(yuan)供氣(qi)能(neng)力)。
4.可能為氣(qi)源壓(ya)強(qiang)太(tai)低或不穩，需要提高氣(qi)源氣(qi)壓(ya)，穩定氣(qi)源壓(ya)強(qiang)。
5.可能為氣體(ti)性質不同，使用空氣標定(ding)同分子量較重的(de)氣(qi)體(ti)時也可能出現(xian)控制不(bu)穩(wen)定(ding)現(xian)象。
6.可能為污染，如(ru)氣(qi)源有粉(fen)塵，容易(yi)液(ye)化等應在通道(dao)前加裝過濾器或者(zhe)適當加溫。若(ruo)使用(yong)硅烷等特殊氣體(ti)，應(ying)注(zhu)意管路(lu)的密(mi)封性和氣源干燥 。
7.可(ke)能(neng)為電路(lu)或調節閥故(gu)障，需要回廠檢修(xiu)。

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